高端光學制造
全自動探針臺是晶圓制造到封裝成型中芯片性能測試的重要設(shè)備,占據(jù)半導體制造流程的一半以上。其中,最核心的視覺定位系統(tǒng)直接決定探針臺的對針精度、測量速度以及整機性能,視覺定位系統(tǒng)包含晶圓相機、探針相機、圖像處理算法等關(guān)鍵模塊。
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